Rapid thermal and integrated processing VI : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A. ; [contains the refereed papers presented at the Symposium Rapid Thermal and Integrated Processing VI as part of the 1997 MRS Spring Meeting]

Rapid thermal and integrated processing VI symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A. ; [contains the refereed papers presented at the Symposium Rapid Thermal and Integrated Processing VI as part of the 1997 MRS Spring Meeting]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium Rapid Thermal and Integrated Processing (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Riley, Terrence J. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Penn. Materials Research Society 1997
Schriftenreihe:Rapid thermal and integrated processing 6
Schlagworte:
Konferenzschrift > Rapid thermal processing
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Beschreibung
Beschreibung:IX, 434 S.
graph. Darst.
ISBN:1558993746
1-55899-374-6