Abschlußbericht des Verbundprojektes "Advanced interconnect technology" (ADIT) : Beitrag der Siemens AG, München, Bereich Halbleiter und Zentralabteilung Technik ; [Abschlußdatum des Vorhabens: 30.06.1997]

Abschlußbericht des Verbundprojektes "Advanced interconnect technology" (ADIT) Beitrag der Siemens AG, München, Bereich Halbleiter und Zentralabteilung Technik ; [Abschlußdatum des Vorhabens: 30.06.1997]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Siemens Aktiengesellschaft Bereich Halbleiter (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Glasow, Alexander von (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: München 1997
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01 M 2933 C/9. - 52500026
Zsfassung in engl. Sprache u.d.T.: Final report of the project "Advanced interconnect technology" (ADIT)
Beschreibung:64 Bl
graph. Darst