Oxidation, diffusion and epitaxy

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Burger, R. M. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Englewood Cliffs, Nj Prentice Hall, Inc. 1967
Schriftenreihe:Fundamentals of silicon integrated device technology 1
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Beschreibung
Beschreibung:XIV, 495 S
graph. Darst