Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of manufacturing

Ultraclean surface processing of silicon wafers secrets of manufacturing

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Hattori, Takeshi (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg u.a. Springer 1998
Schlagworte:
Semiconductor wafers > Cleaning > Silicon > Surfaces > Surface preparation > VLSI > SOI-Technik > Wafer > Oberflächenreinigung
Online Zugang:Cover
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben. - Aus dem Japan. übers
Beschreibung:XXVIII, 616 S
Ill., graph. Darst
ISBN:3540616721
3-540-61672-1