Seminar Mikrodosiersysteme Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie, München, 3.12.1996

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Seminar Mikrodosiersysteme (VerfasserIn), Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie (BerichterstatterIn), Technische Universität München Lehrstuhl für Feingerätebau und Getriebelehre (BerichterstatterIn), Forschungsverbund Mikrosystemtechnik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: München 1996
Schlagworte:
Konferenzschrift > Feinwerktechnik
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:[40] S
graph. Darst