Schlußbericht zum Verbundprojekt Methoden und Werkzeuge für den Mikrosystementwurf METEOR, Teilprojekt 4: Mikrostrukturierungsverfahren

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz-Zwickau Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Kiehnscherf, Richard (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz 1997
Schlagworte:	Forschungsbericht
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