Diamantartiger Hartkohlenstoff als neue Beschichtung für ionensensitive Feldeffekttransistoren

Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1997

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Voigt, Hartmut (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1998
Ausgabe:	Als Ms. gedr
Schriftenreihe:	Berichte aus der Steuerungs- und Regelungstechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Ionensensitiver Feldeffekttransistor > Kohlenstoffwerkstoff > Diamantstruktur > Dünne Schicht > PECVD-Verfahren
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