Charakterisierung optisch anisotroper Hafniumoxid- und Zirkonoxidschichten

Jena, Univ., Diss., 1997

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jänchen, Heidrun (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1997
Schlagworte:
Hochschulschrift > Hafniumdioxid > Zirkoniumdioxid > Optische Schicht > Dielektrische Schicht > Optische Anisotropie
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Beschreibung
Zusammenfassung:Jena, Univ., Diss., 1997
Beschreibung:89, X Bl
Ill., graph. Darst
30 cm