Plasma Immersions Ionenimplantation Teilvorhaben: Anwendungsorientierte Grundlagen der PII ; Abschlußbericht
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| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Augsburg
Univ., Inst. für Physik
1997
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13N6441/3 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronisches Dokument vorh |
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| Beschreibung: | 47 Bl Ill., graph. Darst |