Abschlußbericht zum Teilvorhaben: Auslegung und Prüfung der Entwicklungsmuster im Themenverbund Herstellung und meßtechnische Charakterisierung von dünnen PVD-Metalloxidschichten für den Einsatz in Mikrogassensoren ; Laufzeit: 01.01.94 - 31.12.96

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Auergesellschaft Geschäftsbereich Meßtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Mähl, D. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin ca.1997
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