Abschlußbericht zum Teilvorhaben: Auslegung und Prüfung der Entwicklungsmuster im Themenverbund Herstellung und meßtechnische Charakterisierung von dünnen PVD-Metalloxidschichten für den Einsatz in Mikrogassensoren ; Laufzeit: 01.01.94 - 31.12.96

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Auergesellschaft Geschäftsbereich Meßtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mähl, D. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin ca.1997
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13 MV 0333/5. - Verbund-Nr. 52400037 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronisches Dokument vorh
Beschreibung:	18 Bl graph. Darst