Zur thermischen Bearbeitung dünner Schichten mit einem Elektronenstrahl-Schablonengerät [1]

Karl-Marx-Stadt, Techn. Hochsch., Fak. für Mathematik u. Naturwiss., Diss. A, 1971 (Nicht f. d. Austausch)

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Heisig, Ullrich (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1970
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