Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen

Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997 (Nicht für den Austausch)

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kaun, Ralf (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg u.a. Springer 1997
Schriftenreihe:	IPA-IAO-Forschung und Praxis 253
Schlagworte:	Clean rooms > Electronic industries > Equipment & supplies > Hochschulschrift > Fertigungsanlage > Anlagenplanung > Reinraumtechnik
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997 (Nicht für den Austausch)
Beschreibung:	160 S Ill., graph. Darst 21 cm
ISBN:	3540634479 3-540-63447-9