Entwicklung neuartiger, durch Hochrate - Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften Forschungsbericht 13 N 6139 im Forschungsschwerpunkt Oberflächen- und Schichttechnologien; [Abschlußbericht, Abschlußdatum des Vorhabens: Dezember 1995] Teil 1

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Metzner, Christoph (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden u.a. FhG, FEP u.a. 1996
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie Oberflächen- und Schichttechnologien
Schlagworte:
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