Grundlagen zur Herstellung von Isolatoren auf SiC Abschlußbericht zum BMBF-Projekt ; Forschungsschwerpunkt Sic Elektronik

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	RWTH Aachen Lehrstuhl und Institut für Halbleitertechnik 2 (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Kamienski, E. Stein von (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen ca. 1996
Schlagworte:	Forschungsbericht
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