Untersuchungen zur Berechnung, konstruktiven Gestaltung und technologischen Realisierung von kaskadierbaren elektrostatischen Mikroantrieben

Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1997

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Riemer, Detlef (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Ilmenau 1997
Schlagworte:
Hochschulschrift > Mikrosystemtechnik > Aktor > Elektrostatisches Feld > Finite-Elemente-Methode > Elektroantrieb
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Beschreibung
Zusammenfassung:Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1997
Beschreibung:183 S
Ill., graph. Darst