Untersuchungen der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

Zugl.: Göttingen, Univ., Diss., 1997

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Apel, Markus Friedel (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Göttingen Cuvillier 1997
Ausgabe:	1. Aufl
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Polykristall > Cobalt > Diffusion > Aluminium > Getterung
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