Produktionstechnik für bewegliche Mikrostrukturen auf Substraten am Beispiel des Beschleunigungssensors (PROBE), Teilprojekt: Jenoptik: Erstellung der Anlagenprototypen Zeitraum: bis 31.5.96

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Jenoptik AG (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jena JENOPTIK ca. 1996
Schlagworte:	Forschungsbericht > Substrat > Vakuumbeschichten > Druckumformen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!