Entwicklung einer Mehrlagen-Technologie zur Herstellung von kryoelektronischen Schaltungen mittels Laserablation mit gekreuzten Plasmen Abschlußbericht ; [Bearbeitungszeitraum: 1.1.1994-31.12.1994 (kostenneutral verlängert bis 31.10.1995)]

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Strikovsky, Michael (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gaponov, S. V. (VerfasserIn), Schubert, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Jülich Inst. für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum 1996
Schriftenreihe:	Supraleitung / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
Schlagworte:	Forschungsbericht
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