Design, fabrication and characterization of resonant silicon accelerometers

Barcelona, Univ. Autonoma, Tesi Doct., 1995

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Burrer, Christian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1995
Schlagworte:	Hochschulschrift
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