SXM Lithographie an LB-Schichten Abschlußbericht

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Reiss, Günter (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Inst. für Festkörper- und Werkstofforschung, Abt. Dünne Schichten und Abscheideprozesse 1996
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie Physikalische Technologien
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13N6485/9 Unterschiede zwischen dem gedruckten Originaldokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronisches Dokument vorh
Beschreibung:	[13] Bl Ill., graph. Darst