Berührungslose Gestaltvermessung von Mikrostrukturen durch Fokussuche = Profilometry of microstructures by depth from focus techniques

Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Scheuermann, Torsten (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Pfinztal ICT 1997
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Schriftenreihe des ICT 13
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hochschulschrift > Berührungslose Messung > Oberflächenprüfung > Oberflächenfeingestalt > Mikrostruktur
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