Technologisch orientierte Untersuchungen zur Einführung geeigneter Schichtsysteme zur Erzeugung minimaler Strukturabmessungen Abschlußbericht (Teil 2) ; Unterauftrag

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Thema: Tunnelung von Einzelelektronen in metallischen Strukturen, Teilprojekt: Einrichtung eines Elektronenstrahlschreibers für Linienbreiten unter 50 nm ; [Teil 1]
1. Verfasser:	Hübner, Uwe (VerfasserIn)
Pages:	50
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	1996
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