Optisches Testen von ICS in der Produktion Abschlußbericht des Projektkoordinators

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Institut für Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Berger, Horst H. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin ca. 1996
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01M2932. - Verbund-Nr. 52500064/A
Beschreibung:229 S
graph. Darst