Rapid thermal processing of semiconductors

Literaturverz. S. 301 - 353

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Borisenko, Victor E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Borisenko, Viktor E. (VerfasserIn), Hesketh, Peter J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. Plenum Press c1997
Schriftenreihe:	Microdevices The language of science
Schlagworte:	Semiconductors > Design and construction > Rapid thermal processing > Heat treatment > Halbleiterbauelement > Thermophysikalische Eigenschaft
Online Zugang:	Publisher description Table of contents only
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!