Rapid thermal processing of semiconductors

Rapid thermal processing of semiconductors

Literaturverz. S. 301 - 353

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Borisenko, Victor E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Borisenko, Viktor E. (VerfasserIn), Hesketh, Peter J. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY u.a. Plenum Press c1997
Schriftenreihe:Microdevices
The language of science
Schlagworte:
Semiconductors > Design and construction > Rapid thermal processing > Heat treatment > Halbleiterbauelement > Thermophysikalische Eigenschaft
Online Zugang:Publisher description
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Beschreibung
Zusammenfassung:Literaturverz. S. 301 - 353
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:XXII, 358 S
Ill., graph. Darst
26 cm
ISBN:0306450542
0-306-45054-2