Micromachining and microfabrication process technology II 14-15 October 1996, Austin, Texas

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Pang, Stella W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 1996
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 2879
Schlagworte:	Micromachining > Congresses > Microfabrication > Electromechanical devices > Design and construction > Konferenzschrift
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