Micromachining and microfabrication process technology II 14-15 October 1996, Austin, Texas

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Pang, Stella W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 1996
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 2879
Schlagworte:	Micromachining > Congresses > Microfabrication > Electromechanical devices > Design and construction > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Contains the papers presented at the Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology II that was held as part of the 1996 SPIE Symposium on Micromachining and Microfabrication
Beschreibung:	IX, 366 S
ISBN:	0819422770 0-8194-2277-0