Papers presented at the 23rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films San Diego, CA, USA, April 22 - 26, 1996 [Symposia C (Optical thin films), D (Diamond and related materials), session E4 (Mechanical processes in the atomic scale), and H (Advanced materials in microelectronics)]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (VerfasserIn), American Vacuum Society Vacuum Metallurgy Division (BerichterstatterIn), American Vacuum Society Thin Film Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Sartwell, Bruce D. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 1996
Schriftenreihe:Thin solid films 290/291.1996
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XVII, 540 S
Ill., graph. Darst