Papers presented at the 23rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films San Diego, CA, USA, April 22 - 26, 1996 [Symposia C (Optical thin films), D (Diamond and related materials), session E4 (Mechanical processes in the atomic scale), and H (Advanced materials in microelectronics)]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
1996
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Schriftenreihe: | Thin solid films
290/291.1996 |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | XVII, 540 S Ill., graph. Darst |