TiN diffusion barrier and Ti cap for double metal I.C. interconnects

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Giacomozzi, F. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Pedrotti, S. (VerfasserIn), Moscon, F. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Trento Istituto per la Ricerca Scientifica e Tecnologica 1995
Schriftenreihe:	IRST technical report 9507-16
Schlagworte:
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Beschreibung
Beschreibung:	8 Bl graph. Darst