Zur Abscheidung von Halbleiterschichten mittels Ionenverfahren

Karl-Marx-Stadt, Techn. Hochsch., Diss., 1989

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Hecht, Günther (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1979
Schlagworte:	Hochschulschrift
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