Untersuchung thermo-mechanischer Spannungen beim anodischen Bonden von TEMPAX-Glas und Silizium

Dresden, Univ., Diss., 1996

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Harz, Michael (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1996
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