Laser-Plasmaabscheidung von dünnen Schichten

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Universität Leipzig Institut für Experimentelle Physik 2 (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Lorenz, Michael (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Leipzig Univ., Inst. f. Experimentelle Physik 2 ca.1996
Schlagworte:	Forschungsbericht
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