Laser-Plasmaabscheidung von dünnen Schichten

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Universität Leipzig Institut für Experimentelle Physik 2 (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Lorenz, Michael (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Leipzig Univ., Inst. f. Experimentelle Physik 2 ca.1996
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13 N 6099
Beschreibung:8 Bl
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