Untersuchung von Impulsgeneratoren auf Halbleiterbasis für die Ionenimplantation Abschlußbericht für das F + E-Vorhaben "Plasma-Immersions-Implantation" ; Berichtszeitraum: 01.05.1994 - 30.04.1996

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Klein, J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Fraunhofer-Inst. für Lasertechnik 1996
Schlagworte:	Forschungsbericht
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