Prozeßuntersuchung eines innovativen Plasmaverfahrens zur Herstellung funktionell gradierter Metall-Nichtmetall-Schichten

Prozeßuntersuchung eines innovativen Plasmaverfahrens zur Herstellung funktionell gradierter Metall-Nichtmetall-Schichten

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. V. Hemel, 1996

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hemel, Volker (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Bolt, Harald (VerfasserIn), Nickel, Hubertus (VerfasserIn), Bolt, Hans-Harald (BerichterstatterIn), Nickel, Herbert J. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jülich Forschungszentrum, Zentralbibliothek 1996
Schriftenreihe:Berichte / Forschungszentrum Jülich Institut für Werkstoffe der Energietechnik 3242
Schlagworte:
Hochschulschrift > Forschungsbericht > PECVD-Verfahren > PVD-Verfahren > Beschichten > Dichtes Plasma
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. V. Hemel, 1996
Beschreibung:V, 129 S
Ill., graph. Darst