Proceedings of the Eleventh International Symposium on Plasma Processing [held in Los Angeles, CA, May 5-10, 1996, held as part of the 189th Meeting of the Electrochemical Society]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	International Symposium on Plasma Processing (VerfasserIn), Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mathad, G. S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1996
Schriftenreihe:	Proceedings volume / Electrochemical Society 96-12
Schlagworte:	Konferenzschrift > Plasmastrahlbearbeitung
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!