Advanced metallization for future ULSI symposium held April 8 - 11, 1996, San Francisco, California, U.S.A.

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Four-Day Symposium on Advanced Metallization for Future ULSI (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Tu, King-Ning (HerausgeberIn), Tu, King N. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1996
Schriftenreihe:	Materials Research Society symposium proceedings 427
Schlagworte:	Integrated circuits > Ultra large scale integration > Metallizing > Congresses > Metallic films > Semiconductors > Design and construction > Konferenzschrift > ULSI > Metallisieren
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