Papers from the Eighth International Vacuum Microelectronics Conference 31 July - 3 August 1995, Portland, Oregon

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	International Vacuum Microelectronics Conference (VerfasserIn), Institute of Electrical and Electronics Engineers (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mackie, William A. (BerichterstatterIn), Bell, Anthony E. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York American Vacuum Society 1996
Schriftenreihe:	Journal of vacuum science and technology / B 14.1996,3
Schlagworte:	Konferenzschrift
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