Grundlegende Untersuchungen zur Herstellung nanometergroßer metallischer Leiterbahnen mit dem Rastertunnelmikroskop (RTM) durch lokale elektronenstrahlinduzierte Zersetzung metallorganischer Verbindungen Forschungsbericht SXM-Verfahren

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Hartmann, Elmar (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Techn. Univ., Physik-Department E16 1996
Schlagworte:	Forschungsbericht
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