Integrated micromachinery moving structures on silicon ships

Berkeley, Univ. of California, Ph. D. Thesis, 1990

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Fan, Long-Sheng (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Ann Arbor University Microfilms International 1991
Ausgabe:	[Mikrofiche-Ausg.]
Schlagworte:	Hochschulschrift
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