Proceedings of the Thirteenth International Conference on Chemical Vapor Deposition [held as part of the Electrochemical Society Meeting in Los Angeles, California, Mai 5 - 10, 1996]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	International Conference on Chemical Vapor Deposition (VerfasserIn), Electrochemical Society High Temperature Materials Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Besmann, T. M. (BerichterstatterIn), Besmann, Theodore M. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1996
Schriftenreihe:	Proceedings volume / Electrochemical Society 96-5
Schlagworte:	Konferenzschrift > CVD-Verfahren
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