Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhao, Xianbin (VerfasserIn)
Körperschaft:	Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Fertigungsmesstechnik (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 1995
Schriftenreihe:	PTB-Bericht Fertigungsmesstechnik 20
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht > Rastersondenmikroskop > Kapazitiver Sensor > Rastersondenmikroskopie > Länge > Berührungslose Messung > Nanostruktur
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