Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer

Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Zhao, Xianbin (VerfasserIn)
Körperschaft: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Fertigungsmesstechnik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 1995
Schriftenreihe:PTB-Bericht Fertigungsmesstechnik 20
Schlagworte:
Hochschulschrift > Forschungsbericht > Rastersondenmikroskop > Kapazitiver Sensor > Rastersondenmikroskopie > Länge > Berührungslose Messung > Nanostruktur
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995
Beschreibung:III, 181 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:3894296631
3-89429-663-1