Mikromechanik für kinetische Sensoren Abschlußbericht zum Verbundprojekt ; Berichtsteil der TU Chemnitz-Zwickau ; [Laufzeit: 1.1.1992 - 31.12.1994]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz-Zwickau Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Geßner, T. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz-Zwickau ca. 1995
Schlagworte:	Forschungsbericht
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