Mikromechanik für kinetische Sensoren : Abschlußbericht zum Verbundprojekt ; Berichtsteil der TU Chemnitz-Zwickau ; [Laufzeit: 1.1.1992 - 31.12.1994]

Mikromechanik für kinetische Sensoren Abschlußbericht zum Verbundprojekt ; Berichtsteil der TU Chemnitz-Zwickau ; [Laufzeit: 1.1.1992 - 31.12.1994]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Technische Universität Chemnitz-Zwickau Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Geßner, T. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz-Zwickau ca. 1995
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13 MV 0150. - Verbund-Nr. 52400063
Beschreibung:38 Bl
Ill., graph. Darst