Polykristalline Halbleiter und Niedertemperatur-Dielektrika zur Herstellung von Dünnschichttransistoren für flache Flüssigkristall-Bildschirme

Stuttgart, Univ., Diss. : 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dobler, Markus (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1994
Schlagworte:	Hochschulschrift > Dünnschichttransistor > Cadmiumselenid > Polykristall > CVD-Verfahren > Flüssigkristallanzeige > Flacher Bildschirm > Silicium > Zyklotronresonanz > Prozessoptimierung
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Stuttgart, Univ., Diss. : 1995
Beschreibung:	218 S Ill., graph. Darst