Proceedings of Symposium A on Microstructuring and Microsystems of the 1995 E-MRS Spring Conference Strasbourg, France, 22 - 26 May 1995

Literaturangaben

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Symposium on Microstructuring and Microsystems (VerfasserIn), European Materials Research Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Rooij, N. F. de (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 1995
Schriftenreihe:	Sensors and actuators A, Physical 51.1995,1
Schlagworte:	Konferenzschrift
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