Mikrostruktura defektov v implantirovannych ionami vysokich ėnergij slojach kremnija pri različnych temperaturach otžiga v vakuume
Микроструктура дефектов в имплантированных ионами высоких энергий слоях кремния при различных температурах отжига в вакууме
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , , |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | rus |
| Veröffentlicht: |
Dubna
Obʺedinennyj institut jadernych issledovanij
1995
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| Schriftenreihe: | Obʺedinennyj institut jadernych issledovanij
P14-95-74 |
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| Beschreibung: | 6 Seiten Illustrationen |