Diamantabscheidung mit großflächigen Mikrowellenplasmen [Schlußbericht]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Ohl, Andreas (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Greifswald 1994
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT 03 M 2727 F5
Beschreibung:89 Bl
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