Diamantabscheidung mit großflächigen Mikrowellenplasmen [Schlußbericht]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Greifswald
1994
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT 03 M 2727 F5 |
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Beschreibung: | 89 Bl graph. Darst |